模块都被小心放入防静电托盘,每一组检测数据都被详细记录。
“检查密封和管路接口,确认没有泄漏。”
姜蕴宁靠近,目光扫过真空泵体表面。
“明白。”
孙卓越小心地旋开接口,另一名同事递过微型压力计,“读数稳定吗?”
“暂时还在安全范围,但比正常值略低。”
姜蕴宁眉头微蹙,“动作小心些,别碰到旁边的传感器线束。”
“收到。”
这种高强度、封闭式的拆机与检测不仅考验着工程师的耐力,更考验着团队的协作和心理承受力。
因为每一个微小的疏忽,都可能带来不可逆的损失。
工程师们轮流操作、互相确认,每一步都仔细复核、交叉确认,确保不出差错——也正因此,整体周期被进一步拉长,比姜蕴宁预计的时间还长了三天。
第十天,排查和修复完成后,“旭日2号”
进行空载测试。
空载测试是指在不放入晶圆的情况下,运行光刻机的各个系统,以验证其功能和稳定性。
通过这种方式,可以提前现潜在异常,调整机械或电子参数,从而避免再次造成高价值晶圆的损失。
直到主面板上的绿色灯常亮,所有人提着的那股气终于散了。
有人捂着额头,小声低呼:“苍天啊,终于成了。”
姜蕴宁检查所有参数,确认一切正常之后,抬头对大家说:“明天休息一天。”
“别别别,再也不敢休息了。”
张新然夸张地叫唤,“晚上睡一睡,明天继续干活,行不行?”
看向姜蕴宁的眼神充满了期望。
他现在听到“休息”
两个字都害怕了。
这次放假五天,实际休息三天不到,然后被召唤回来狂补了十天高强度的班。
连着十天没回宿舍,他都怀疑自己的宿舍得积灰了。
“对啊对啊,别休息了,今天早点下班,回宿舍收拾收拾就行,明天照常上班吧。”
其他人也纷纷附和。
那些原本没被紧急召回的人,回来后也经历了整整一周的“生不如死”
式高强度工作。
姜蕴宁看着强烈要求继续工作的团队,这一次没有铁腕地强制休息。
因为让“旭日2号”
恢复正常只是第一步,接下来还需要进行改造,以应对极端断电情况,而这部分耗时,将比此前的拆机检测更久。
