时间往前推三天。
大部分科研人员已经正式开启五天假期,实验大楼只剩下轮值的几位工程师。
夜幕深沉,研究所的灯光依旧冷冷地亮着,一切静悄悄。
突然,实验区总电源瞬间跳闸,整片洁净室陷入短暂黑暗。光刻机屏幕熄灭,自检流程中止;风淋通道停止运转,层流面板的嗡鸣戛然而止,空气失去了惯常的稳定流动,弥漫着一丝沉闷。
轮值工程师立即操作备用电源,但因柴油发电机启动延迟,关键设备在接近五分钟的时间里未能获得稳定供电。光刻机自动进入自检模式,部分模块闪烁着轻微警示。
五分钟后,电力终于全面恢复,空气流动也回到了平日的稳定状态。
工程师们快速排查,确认设备能够继续运行,空气洁净度也在可接受范围内。由于断电持续时间短、表面上没有致命故障,他们按轮值应急流程自行处理,未立即上报给正在休假的项目负责人姜蕴宁,代理负责人莫清文也暂未介入。
随后的两天里,设备在轮值工程师的监控下继续运作。高端光刻机毕竟昂贵精密,非授权操作稍有不慎便可能触发报警或造成更大损失。面对可能潜伏的隐患,他们既无权限也无能力进行深层检测,只能将生产出的晶圆片送往检测环节,焦急地等待结果。
第三天中午,检测室的数据终于传了回来:成片良率骤降,图案边缘出现严重畸变,远超允许范围。
几个值班工程师呆愣在屏幕前,心里同时涌起一股寒意——完了。
这不是简单的工艺偏差。
操作失误、参数设置或材料问题还能通过手动调整修正,但现在的状况明显出在设备层面:光刻机尚未完成调试就发生严重故障,核心模块异常严重,修复难度极大,可能需要重新调校,甚至重装关键组件,几乎面临报废的风险。
顺藤摸瓜追溯原因,所有异常参数的起点,都指向三天前的那次五分钟断电。
研究所的紧急会议室里气氛凝重,没人再敢隐瞒,立即上报项目代理负责人莫清文。就在那一刻,莫清文果断下达指令:
“立刻联系姜蕴宁,让她马上回来。”
姜蕴宁到达研究所的时候已经是晚上,她没有回宿舍,径直奔向实验室。
夜色下,实验大楼却亮如白昼。门禁一遍遍开合,带出急促而不安的气息。
姜蕴宁推开更衣室的门,迅速换上无尘服,动作干脆利落。戴好口罩和手套,走进风淋室。四周骤然响起沉闷的气流声,高速洁净气流从多个角度扑面而来,将衣物表面可能残留的尘埃、毛发、纤维等微小颗粒彻底吹散。短短十几秒后,指示灯变绿,气闸门缓缓开启,通往实验区的通道出现在眼前。
进入实验区。
灯光冷冷地照在设备上,姜蕴宁低头查看光刻机的自检界面。屏幕上参数略有波动,几个小报警闪烁——结合系统日志和值班工程师送检的成片数据,她的心猛地一沉:光刻机核心模块出现了严重故障。
几个值班工程师站在她旁边,眼神有些惴惴不安。
姜蕴宁好不容易休假,让他们临时顶下项目,没想到就遇上断电带来的大麻烦。
看着她仔细翻阅资料、调阅日志,工程师们的心越发紧绷。
姜蕴宁抬起头,看见几个人像犯了错的小孩般站在旁边。
“不用自责,这不是你们的错。”她声音平静,却带着不容置疑的坚定。虽然眼前的问题棘手,但她不会把责任归咎于任何人。
“可是,你在的时候,啥事情没有,你一走我们就给你挖了这么大一个坑……”断电时在场的值班工程师低声说,语气里带着几分自责。
“没有‘可是’。”姜蕴宁斩钉截铁地说,“如果非要找这次事故的责任人,主要责任在我。设计时没有充分考虑断电这种极端情况,以为手动切换备用电源就足够,没想到即便短暂断电也会造成如此严重的后果。”
她深吸一口气,快速评估情况:
