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第145章 沪上风云芯火相传(1 / 2)

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1993年的上海,空气中弥漫着一股躁动而又充满希望的气息。

浦东开开放的号角已经吹响,黄浦江两岸,到处都是热火朝天的工地。

但李晓宇和林涛此行的目的地,却不是繁华的外滩,也不是正在崛起的陆家嘴,而是位于城市西南角,稍显冷清的漕河泾新兴技术开区。

在一栋外表斑驳,挂着“上海光学仪器厂微电子装备分厂”

牌子的老式红砖楼里,他们见到了此行的目标——贺云飞。

这位在后世被誉为“中国光刻机之父”

的传奇人物,此刻,正坐在一堆散乱的图纸和已经凉透的盒饭中间,愁眉紧锁。

他的头花白而凌乱,厚厚的眼镜片后,是一双布满了血丝,却依然透着倔强的眼睛。

“李总工?金陵中心?”

贺云飞抬起头,看着眼前这个年轻得有些过分的访客,眼中并没有太多热情,反而带着一丝警惕和疲惫,“你们是来买设备的?如果是想买那些被淘汰的接触式光刻机,那你找错人了,我们厂快倒闭了,设备都封存了。”

他的声音里,透着一股深深的无奈。

在那个“造不如买,买不如租”

思想盛行的年代,国产半导体装备行业,正经历着最寒冷的冬天。

经费被砍,项目下马,人才流失。

贺云飞和他的团队,就像一群在冰天雪地里坚守阵地的孤军,弹尽粮绝,却依然不愿放弃心中的那个梦。

李晓宇没有因为对方的冷淡而退缩。

他拉过一把椅子,坐在了贺云飞的对面。

“贺工,我不是来买旧设备的。”

李晓宇的声音平静而诚恳。

“我是来,请您出山的。”

他从公文包里,取出了一份文件,那是“精卫”

项目刚刚取得的,关于深紫外激光直写光刻机的详细技术报告。

还有一封,张承平院士的亲笔信。

“这是我们‘金陵中心’和长光所,最近刚刚搞出来的东西。

我想请您,帮我们把把关。”

贺云飞将信将疑地接过文件。

起初,他只是漫不经心地翻看着。

但随着阅读的深入,他的表情开始变化。

从疑惑,到惊讶,再到震惊!

当他看到“o1微米光栅刻划精度”

和“全固态深紫外激光源”

这几个关键指标时,他的手,开始微微颤抖。

他猛地抬起头,死死地盯着李晓宇,仿佛要重新认识这个年轻人。

“这……这是你们自己搞出来的?不是进口的?”

“百分之百国产,拥有完全自主知识产权。”

李晓宇斩钉截铁地回答。

“好!

好啊!”

贺云飞激动地拍了一下桌子,那双原本黯淡的眼睛里,重新燃起了光芒,“没想到,在我也快要绝望的时候,竟然还有人,在这么高精尖的领域,默默地耕耘出了成果!

张院士信里说得对,你们,确实是干实事的!”

但随即,他又冷静了下来,叹了口气。

“但是,李总工。

光栅刻划,和芯片光刻,虽然原理相通,但难度,却有着天壤之别。”

他站起身,走到墙边,指着一张泛黄的光刻机结构图,语气沉重。

“芯片光刻机,最核心,也最难的,不是光源,也不是运动台。

而是这个——投影物镜系统!”

“它由几十片,形状各异,精度要求达到纳米级的透镜组成。

为了消除色差和畸变,我们需要用最高纯度的熔石英玻璃。

而为了加工这些镜片,我们需要比你们‘精卫’还要精密十倍的精密磨床!”

“国内没有合格的光学玻璃,也没有能加工这种镜片的设备。

这就是我们的‘心脏病’,也是我们始终无法突破的死结。”

看着贺云飞那痛苦的表情,李晓宇

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