“神光二号”
的成功,如同一剂强心针,让整个微电子装备研究院的士气达到了顶点。
但在随后的战略研讨会上,李晓宇却给所有头脑热的专家们,泼了一盆冷水。
“同志们,o25微米,在国际上只能算是跟上了大部队的尾巴。”
他指着投影幕布上,那条代表着摩尔定律的陡峭曲线,语气严峻。
“尼康和佳能,正在全力攻关193纳米的arf干式光刻机,试图冲击o13微米甚至9o纳米的极限。
如果我们还是跟在他们屁股后面跑,用传统的干式技术,我们永远也别想越!”
“所以,”
李晓宇的目光变得深邃,“我们要换个赛道,我们要弯道车!”
他拿起一支记号笔,在白板上画了一个物镜和硅片的示意图,然后在两者之间,画了一层蓝色的波浪。
“浸没式光刻(irsionlithography)!”
这个词一出,全场鸦雀无声。
即使是范·德·维尔这样的顶级专家,也露出了困惑的神情。
“水的折射率是144,比空气的1o要大得多。”
李晓宇解释道,“根据瑞利公式,如果在物镜和硅片之间充满纯水,就相当于变相提高了透镜的数值孔径(na),从而大幅提升光刻机的分辨率!”
“这就好比,你在水里看东西,会觉得物体被放大了。
利用这个原理,我们完全可以用现有的193纳米光源,实现134纳米甚至更短的等效波长,一举突破65纳米甚至45纳米的工艺节点!”
“这……这简直是天才的想法!”
范·德·维尔猛地站了起来,激动得满脸通红,“但是,李,这里面有两个致命的工程难题。
第一,如何保证水的绝对纯净和无气泡?第二,如何在高运动的工件台上,保持水膜的稳定而不泄漏?”
“这就是我们要攻克的堡垒。”
李晓宇看向秦振华和林涛,“秦总,你的制造总院要设计一个精密的液浸喷头,利用流体力学原理,让水流在镜头下形成一个稳定的‘水垫’。
林涛,你的算法团队要开一套‘流场控制模型’,实时监控和调整水流的度和压力,确保没有一个气泡产生!”
“这是我们战胜尼康,甚至战胜asl的唯一机会!
这是一场关于‘水’的战争!”
就在“神光三号”
的蓝图刚刚铺开之时,来自西北大漠的召唤,再次打断了李晓宇的节奏。
神舟五号,中国第一艘载人飞船,即将射!
这一次,它不仅要将中国航天员送入太空,还将搭载升级版的“天宫二号”
空间工作站,进行人类历史上次“人机协同”
的舱外在轨维修实验。
作为“天宫”
系统的总设计师,李晓宇必须在场。
酒泉的深秋,风沙漫天。
但在射前夜,风停了,云散了,露出了璀璨的银河。
李晓宇和苏晚晴,并肩坐在射塔架不远处的沙丘上。
看着那枚在探照灯下巍峨耸立的长征火箭,苏晚晴忽然轻轻叹了口气。
“晓宇,你知道吗?有时候我觉得你就像这枚火箭,一直在向上冲,却很少回头看看身边的人。”
李晓宇心中一颤。
他转过头,看着苏晚晴那双在星光下显得格外明亮的眼睛。
这些年,她一直默默地站在他身后,用她的才华和坚韧,支撑着他的每一个疯狂构想。
他伸出手,从口袋里掏出了那枚一直贴身带着的,用“天宫”
钛合金粉末打印的戒指。
“晚晴,”
他的声音有些干涩,但却无比真诚,“其实,我一直都想对你说……”
“我想用这些星星,为你做一条项链。
但我做不到。
所以我只能用这枚戒指,圈住你,也圈住我们的梦想。”
