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姜蕴宁终于放下笔,疲惫地揉了揉眉心,额头沁出一层薄薄的细汗,仿佛打完了一场没有硝烟的硬仗。
她深深吐出一口气。
答案终于浮现出来——
果然,是设计中少考虑了一个关键环节:光刻机在瞬时断电时的保护存在空档,关键模块没有完整的过渡机制。
哪怕是只有十几毫秒的真空,也足以让数千万价值的晶圆瞬间报废。
是的,十几毫秒。
光刻机里涉及的瞬时断电保护确实是在毫秒级生作用的——
光刻机的曝光、对准和真空系统对电力极为敏感;
真空泵一旦断电,真空环境会在几毫秒到几十毫秒内开始下降;
在这个短时间内,如果没有备用电源维持关键模块运行,晶圆可能立刻暴露在非理想环境下,导致曝光失败或损坏。
“旭日2号”
光刻机设计时,确实配备了缓冲电源和惯性保持系统,但此次使用的模块未完全覆盖极端断电瞬间的需求。
姜蕴宁在此刻终于确认,这不是操作疏忽,而是系统设计上的空档。
她的眉头紧锁,心中有一丝沉重——一个毫秒级的忽略,却造成如此巨大的损失。
将文字资料收拾好,而那一小堆残次品晶圆,她把它们整齐地收拢到桌角,方便观察和分析。
虽然已经报废,但每一片都承载着研阶段的重要工艺信息,不能随意丢弃。
姜蕴宁锁好办公室的门,走向宿舍。
夜色沉沉,研究所里静得出奇。
此时已经凌晨四点,她的思绪仍然无法平静,脑海里不断回想轮值工程师汇报的情况,以及自己对光刻机设计和断电应对机制的推演。
她不想让这次的事件影响了整个研调试的进度,所以接下来的工作量加大了。
疲惫袭来,她靠在宿舍门口的门框上,深深吸了一口冷冽的夜风,才慢慢迈步走进房间。
躺在床上,长途奔波和连续思考让姜蕴宁的身体疲惫不堪,但思绪依旧清晰,睡意无从降临。
六点整,她准时起身,匆匆吃过早餐后便赶到实验室。
除了轮值工程师,那些被紧急召回的同事也已到齐。
“晨曦”
项目“旭日2号”
光刻机正处于研调试阶段,团队成员大多正在休假。
按照惯例,实验室设有轮值工程师值班,负责按计划监控设备运行、记录数据和处理一般异常。
平时,这套制度可以保证研活动平稳进行,而不会打扰正在休假的核心成员。
然而,这次光刻机出现了突异常,严重影响关键研目标。
于是,作为项目负责人的姜蕴宁只紧急召回了对故障分析和关键模块最熟悉的核心成员,而其他非关键人员则继续休假。
因为这样既能迅应对紧急情况,又避免无谓的人力浪费。
实验室里,每个人面色凝重,眉头紧锁,空气中弥漫着紧张而沉重的气息。
姜蕴宁微微弯腰,指尖轻轻敲击着桌面,像是在整理思路,也在提醒大家专注。
她抬起头,扫视一圈,沉声问道:“都了解情况了吗?”
