1993年的冬天,对于江州“工业长城”
基地来说,是一个充满了变革与希望的季节。
几辆满载着设备和行李的大巴车,缓缓驶入了园区。
车上坐着的,正是贺云飞和他那支,在上海坚守了数年,如今终于等来了春天的光刻机研团队。
当贺云飞走下车,看着眼前那座气势恢宏的研大楼,看着那一栋栋崭新明亮的专家公寓,以及远处那连绵成片,日夜轰鸣的现代化厂房时。
这位受尽了冷遇和经费短缺之苦的老专家,眼眶湿润了。
“贺工,欢迎回家。”
李建国热情地迎了上去,握住他的手,“房子都安排好了,实验室也准备就绪。
在这里,您只需要操心一件事——技术。
其他的,交给我们!”
贺云飞重重地点了点头。
他知道,从今天起,他和他的团队,终于有了一个,可以安心铸剑的家。
为了迎接这支“新军”
,李晓宇再次对“工业长城”
的组织架构,进行了一次重大的战略调整。
在随后召开的全体扩大会议上,他正式宣布:
成立“微电子装备研究院”
!
由贺云飞担任任院长,张承平院士担任席科学家。
至此,以秦振华领导的“精密制造总院”
、林涛领导的“算法与软件研究院”
,以及新成立的“微电子装备研究院”
为核心的,“三院鼎立”
的宏大战略格局,在“工业长城”
正式成型!
这三大支柱,如同一只巨大的鼎,稳稳地托起了中国未来高端工业的脊梁。
“神光”
计划,在这个全新的架构下,立刻进入了快车道。
在第一次技术路线研讨会上,李晓宇面对着贺云飞、张承平以及数十位光学、电子、机械领域的顶尖专家,拍板定下了“神光一号”
的技术指标。
“我们不能好高骛远,但也绝不能固步自封。”
李晓宇指着白板上的技术路线图,沉声说道。
“直接上深紫外(v)还不现实,我们的配套产业链还跟不上。
但是,我们也绝不能再去搞那些落后的接触式光刻机。”
“我们要做的,是分步重复投影光刻机(stepper)!”
“光源,采用我们自己能造的高压汞灯(g线)。
分辨率目标,死死咬住o8微米!
这个精度,虽然比不上国际最顶尖的水平,但足够满足我们国家目前急需的,工业控制芯片和消费电子芯片的制造需求!”
“我们要先解决‘有无’的问题,再解决‘好坏’的问题!”
一场史无前例的“多兵种协同作战”
,在李晓宇的指挥下,轰轰烈烈地展开了。
精密制造总院承担了“骨骼”
的制造。
秦振华调集了最精锐的力量,利用“盘龙母机”
那恐怖的加工能力,为光刻机打造出了一个,重达数吨,但在微观层面却平整如镜的花岗岩基座和精密导轨系统。
算法研究院承担了“神经”
的连接。
林涛带领着他的软件天才们,开始攻克光刻机最核心的控制难题——纳米级工件台对准算法。
他们惊讶地现,光刻机对运动精度的要求,竟然比五轴机床还要高出两个数量级!
这对他们的算法架构,提出了前所未有的挑战。
而微电子研究院,则在贺云飞的带领下,向着光刻机的心脏——投影物镜系统,起了决死冲锋!
每一天,实验室里都灯火通明。
每一次数据的跳动,都牵动着无数人的心。
然而,就在“神光”
初现曙光之时,外部的阴霾,却再次袭来。
日本通产省,那双一直盯着中国的阴鸷眼睛,终究还是
