中科院化学所的支援度,快得令人咋舌。
就在李晓宇那通电话打完后的第三天,刘所长便亲自带着一支由三十名高分子化学、精细化工领域的顶尖专家组成的“化学军团”
,风尘仆仆地赶到了江州。
他们带来的,不仅是那个年代国内最珍贵的实验仪器和试剂,更带来了中国化学界几十年来,在感光树脂领域默默耕耘所积累下来的,厚重的技术底蕴。
“李总工,人我给你带来了。
只要能造出光刻胶,别说是没日没夜,就是让我们喝试剂,我们也不皱一下眉头!”
刘所长一见面,就立下了军令状。
“影青”
计划,在“金陵中心”
的一间新建成的,拥有最高洁净等级的化工实验室内,正式启动。
然而,摆在这群化学专家面前的第一个拦路虎,并不是复杂的配方,而是一个,在他们过去的概念里,几乎被忽略的指标——纯度。
“金属离子含量,必须控制在ppb(十亿分之一)级别?”
看着李晓宇给出的技术标准,一位老教授扶了扶眼镜,满脸的不可置信,“这……这要求太苛刻了!
我们平时的试剂,能做到pp(百万分之一)就算高纯了。
ppb……那就像是在一个标准游泳池里,不能有一粒盐啊!”
李晓宇点了点头,语气严肃。
“没错,就是这么苛刻。
因为光刻胶是直接接触芯片表面的材料。
任何一个微小的金属离子污染,都会导致晶体管漏电,让整块芯片报废。
这就是半导体级化学品,与普通化工品的本质区别!”
为了打赢这场“纯度战争”
,李晓宇再次展现了他那越时代的工程设计能力。
他没有让大家去盲目提纯,而是亲自设计了一套,从原料预处理,到反应合成,再到最终过滤灌装的,全封闭、全自动化的纯生产线。
在这条生产线上,所有的管道、阀门、储罐,全部采用了昂贵的特氟龙(ptfe)材料,以杜绝任何金属离子的析出。
所有的操作人员,都必须穿戴全封闭的,自带呼吸系统的“宇航服”
式防尘服,经过三道风淋和除静电程序,才能进入核心区。
这哪里是化工厂,这简直就是生化危机的实验室!
在这样一种近乎于“洁癖”
的严苛环境下,专家们开始了艰苦的攻关。
一次次失败,一次次调整配方,一次次检测离子含量……
终于,在经历了三个月的地狱般折磨后。
第一瓶,呈现出淡青色透明状,金属离子含量被死死压在1oppb以下的,国产g线正性光刻胶——“影青一号”
,在无尘室柔和的黄光下,诞生了!
而就在“影青”
突围的同时,隔壁的微电子研究院里,贺云飞和他的团队,也在经历着另一场“魔鬼细节”
的考验。
光刻机的“心脏”
——投影物镜系统,其装配难度,甚至过了设计本身。
二十多片,形状各异,材质不同的高精度透镜,需要被极其精准地,同轴安装在一个长达一米的镜筒里。
“不行!
还是有像差!”
贺云飞看着干涉仪上的波面图,急得直拍大腿,“每一片透镜的单体精度都够了,但是装在一起,误差就累积放大了!
同轴度偏差了o5微米,这就足以让o8微米的线条模糊成一团!”
这是精密光学装配中,最令人头疼的“累积误差”
问题。
也是制约中国光学镜头迈向高端的死结。
李晓宇闻讯赶来。
他没有去调整镜片,而是仔细观察了那个沉重的金属镜筒。
“贺工,问题可能出在‘硬碰硬’上。”
他指着镜筒与透镜座的连接处,“传统的刚性连接,会让镜筒加工
