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第148章 良率之战芯片心脏(1 / 2)

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实验室里的欢呼声渐渐平息,但李晓宇知道,真正的战斗才刚刚开始。

“神光一号”

虽然在实验室环境下实现了o8微米的分辨率,但这就像一个刚刚学会走路的孩子,距离在工业生产线上进行马拉松式的长跑,还有着巨大的鸿沟。

要让它成为一台真正的工业母机,必须通过最残酷的考验——良率测试。

在这个芯片制造的战场上,9o的良率是及格线,95是优秀,而低于这个数字,就意味着巨额的亏损和彻底的失败。

一周后,那台承载着无数希望的“神光一号”

样机,被拆解、打包,装上了特制的减震卡车,一路南下,驶向了上海张江高科技园区。

那里,一座刚刚封顶的,由国家重金投资建设的8英寸晶圆代工厂——“华夏微电子”

,正虚位以待。

厂长赵国栋,一位从美国硅谷归来的资深半导体专家,看着这台贴着“金陵中心”

标签的国产设备,眼神中充满了复杂的情绪。

有期待,但更多的是怀疑。

“李总工,”

赵国栋坦率地说道,“我不怀疑你们的技术实力。

但是,芯片生产线是一台精密的印钞机,任何一点微小的故障,都会导致数百万美元的损失。

你们的机器,真的能扛得住7x24小时的高强度运转吗?”

“赵厂长,请给我们一次机会。”

李晓宇的回答依旧自信,“还是那句话,事实胜于雄辩。”

试生产正式开始。

第一批25片8英寸硅晶圆,被机械手送入了光刻机内部。

曝光、显影、刻蚀……

几个小时后,当第一批晶圆经过最终的电性测试时,结果却给了所有人当头一棒。

良率:32!

看着那张惨不忍睹的测试报告,赵国栋叹了口气,没有说话。

但那失望的表情,已经说明了一切。

贺云飞和张承平急得满头大汗,立刻带领团队进行了彻夜的排查。

“不是分辨率的问题!”

贺云飞指着显微镜下的图像说道,“线条很清晰!

问题出在套刻精度(over1ay)上!

多层电路之间的对准出现了偏差,导致了电路短路或断路!”

原来,光刻机在长时间运行后,由于内部电机热、环境温度微变等因素,导致了工件台和掩膜版之间产生了微米的相对位移。

虽然“女娲”

系统已经有了补偿算法,但在如此复杂的动态环境下,依然显得力不从心。

“我们需要更聪明的算法。”

李晓宇将目光投向了林涛。

“林涛,调动‘盘古’阵列的所有算力!

我要你建立一个涵盖光刻机内部所有热源、振动源和应力源的‘全机物理场动态模型’!”

“我们要预测未来!

在误差生之前,就把它计算出来,并补偿掉!”

这是一项浩大的工程。

林涛带领着算法研究院的精英们,在上海的临时办公室里,进行了为期两周的封闭开。

他们采集了海量的传感器数据,训练出了一个针对“神光一号”

特性的深度学习模型。

这就是——“基于热场模型的实时套刻补偿算法”

两周后,算法升级完毕。

第二批晶圆,再次被送入光刻机。

这一次,所有人都屏住了呼吸。

控制屏幕上,代表着套刻误差的曲线,在算法的强力介入下,被死死地压在了一条直线的附近,波动幅度甚至小于1o纳米!

当最后一批晶圆下线,赵国栋亲自拿着测试探针,一个个地进行检测。

“第一片,合格!”

“第二片,合格!”

……

“第二十五片,合格!”

最终的良率报告出来了——98

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